[±¹³»¿Ü °æÁú ¹Ú¸· º¸È£ ÄÚÆà ½ÃÀå µ¿Çâ]
¥°. °æÁú ¹Ú¸· º¸È£ ÄÚÆà ½ÃÀå È帧
¡Û °æÁú ¹Ú¸· º¸È£ ÄÚÆà ½ÃÀåÀÇ ±â¼úÀº ±âÁ¸ ±¤Çз»Áî ±ÝÇü ÄÚÆÿ¡ Àû¿ëµÇ´Â DLC ¹Ú¸·º¸´Ü °í¿Â¿¡¼ ³»¸¶¸ð¼º, °í°æµµ, °í¿Â¾ÈÁ¤¼ºÀ» À¯ÁöÇϵµ·Ï ÇÏ´Â c-BN ¹Ú¸·À» ÀÔÇô ¼º´ÉÀ» Çâ»ó ½ÃÅ°´Â °³¹ß ±â¼úÀÓ.
¡Û ÀÌÀÇ ½ÇÇöÀ» À§ÇÏ¿© ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î 1)R.F sputter ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ c-BN ¹Ú¸· ÁõÂø ±â¼ú °³¹ß 2)inter-layer »ðÀÔÀ» ÅëÇÑ ¸ðÀç¿ÍÀÇ Á¢Âø·Â Áõ´ë ±â¼ú °³¹ß, 3)±¤Çз»Áî±ÝÇü(WC)¿¡ Àû¿ë, °í¿Â(600¡ÉÀÌ»ó) ¼ºÇü°øÁ¤ ÃÖÀûÈ ±â¼ú °³¹ß·Î ±¸¼ºµÊ.
¡Û °æÁú ¹Ú¸· º¸È£ ÄÚÆà »ê¾÷Àº ¼¼ºÎÀûÀ¸·Î´Â ºñ±¸¸é À¯¸®·»Áî, Rf Sputter C-Bn ÀåÄ¡, DLC¹Ú¸·ÄÚÆà ½ÃÀå ¶Ç´Â »ê¾÷À̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖÀ½.
- ÀÌÀÇ ±â¼ú °³¹ßÀ» ÅëÇÏ¿© ÇöÀç ±¤Çз»Áî ±ÝÇüÀÇ º¸È£ÄÚÆÃÀ¸·Î °í°æµµ, Àú¸¶ÂûÀÇ DLC ¹Ú¸·ÀÌ »ó¿ëÈ, DLC ¹Ú¸·ÀÇ ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼ºÀ» °¡Áö¸é¼µµ DLC ¹Ú¸·ÀÌ Àû¿ëµÇÁö ¸øÇÑ °í¿Â ȯ°æÀÇ °øÁ¤¿¡µµ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇϸç, Àý»è°ø±¸¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ³»¸¶¸ð °æÁú ÄÚÆÃÀ» ´ëü ÇÒ ¼ö ÀÖÀ½.
¿¬·Éº° | ¼ºº° | ³âµµº° | ºÐ±âº° |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||